Просмотреть запись

Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов

Репозиторий БНТУ

Информация об архиве | Просмотр оригинала
 
 
Поле Значение
 
Заглавие Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов
 
Автор Чапланов, А. М.
Маркевич, М. И.
Щербакова, Е. Н.
 
Дата 2012-04-16T15:27:56Z
2012-04-16T15:27:56Z
2011-11
 
Тип Статья
 
Идентификатор Чапланов, А. М. Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов / А. М. Чапланов, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Белорусская инновационная неделя «Состояние и перспективы совместных Белорусско-Иранских исследований в области био- и нанотехнологий, электроники и озеленения» : научно-практический семинар. – 2011. – 16–17 ноября.
http://rep.bntu.by/handle/data/2307
 
Язык ru
 
Связанные ресурсы Состояние и перспективы совместных Белорусско-Иранских исследований в области био- и нанотехнологий, электроники и озеленения : научно-практический семинар