Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов
|
|
| Автор |
Чапланов, А. М.
Маркевич, М. И. Щербакова, Е. Н. |
|
| Дата |
2012-04-16T15:27:56Z
2012-04-16T15:27:56Z 2011 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Чапланов, А. М. Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов / А. М. Чапланов, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Белорусская инновационная неделя. Форум «Беларусь — Иран». Научно-практический семинар «Состояние и перспективы совместных белорусско-иранских исследований в области био- и нанотехнологий, электроники и озеленения». – 2011.
https://rep.bntu.by/handle/data/2307 |
|
| Язык |
ru
|
|