Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом : учебное пособие
Электронный научный архив УРФУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом : учебное пособие
|
|
| Автор |
Каменецких, А. С.
Кайгородов, А. С. |
|
| Создатель |
Чолах, С. О.
|
|
| Тематика |
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
ПЛАЗМЕННО-ПУЧКОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ РАСПЫЛЕНИЕ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННЫМИ ПУЧКАМИ |
|
| Описание |
Рассмотрены основные физические процессы, происходящие при взаимодействии ускоренных частиц с твердыми телами. Изложены основные физические принципы ионной имплантации, распыления твердых тел. Рассмотрены основы взаимодействия электронов с веществом, а также даются примеры применения электронных пучков для обработки материалов. Учебное пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», а также для студентов и аспирантов, обучающихся по физическим специальностям, изучающих курсы «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей».
|
|
| Дата |
2024-04-24T05:33:28Z
2024-04-24T05:33:28Z 2024 |
|
| Тип |
Book
Book (info:eu-repo/semantics/book) Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) |
|
| Идентификатор |
Каменецких А. С. Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом : учебное пособие : Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета для студентов вуза, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04, 11.04.04 — Электроника и наноэлектроника / А. С. Каменецких, А. С. Кайгородов ; научный редактор С. О. Чолах ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2024. — ISBN 978-5-7996-3822-1. — 84 с. — 978-5-7996-3822-1. — ISBN 978-5-7996-3823-8 (ч. 1). — Текст : непосредственный.
978-5-7996-3822-1 978-5-7996-3823-8 (ч. 1) http://elar.urfu.ru/handle/10995/132551 66969945 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|
| Издатель |
Издательство Уральского университета
|
|