Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте
Электронный научный архив УРФУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте
|
|
| Автор |
Мельников, С. А.
Кособоков, М. С. Аликин, Д. О. |
|
| Тематика |
ПРОГРАММА ДЛЯ ЭВМ
|
|
| Описание |
Программа методом конечных элементов решает обратную физическую задачу поиска жёсткости при заданной частоте первой вертикальной резонансной колебательной моды кремниевого зонда атомно-силового микроскопа. Входные параметры: геометрические размеры кантилевера и иглы. В расчёте учтена анизотропия упругих свойств кремния и ориентация кристаллографических направлений в соответствии технологии производства зондов. При решении обратной задачи для сходимости экспериментальной частоты с теоретической варьируется толщина кантилевера. Программа может быть использована для определения жёсткости кантилеверов без контакта зонда с поверхностью. Выражаем благодарность за финансирование исследований со стороны Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках Программы развития УрФУ в соответствии с программой стратегического академического лидерства «Приоритет-2030».
|
|
| Дата |
2024-05-21T07:21:27Z
2024-05-21T07:21:27Z 2023-10-13 |
|
| Тип |
Patent
Patent (info:eu-repo/semantics/patent) |
|
| Идентификатор |
2023680031
http://elar.urfu.ru/handle/10995/134786 56000162 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Связанные ресурсы |
https://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=EVM&DocNumber=2023681420&TypeFile=html
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|