Морфология поверхности и элементный состав кремния, легированного примесями с помощью диффузионной технологии
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Морфология поверхности и элементный состав кремния, легированного примесями с помощью диффузионной технологии
|
|
| Автор |
Анисович, А. Г.
Асанов, Д. Ж. Бахадырханов, М. К. Маркевич, М. И. Щербакова, Е. Н. |
|
| Дата |
2024-04-22T11:48:26Z
2024-04-22T11:48:26Z 2020 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Морфология поверхности и элементный состав кремния, легированного примесями с помощью диффузионной технологии / А. Г. Анисович [и др.] // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении [Электронный ресурс] : материалы VIII международной научно-практической конференции (Минск, 19 марта 2020 года) : в рамках выставки «Автоматизация, электроника – 2020» / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.] ; сост. А. Н. Дербан. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 53-55.
https://rep.bntu.by/handle/data/142031 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|