Автоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластин
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригиналаПоле | Значение | |
Заглавие |
Автоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластин
|
|
Автор |
Гурский, Н. Н.
|
|
Дата |
2024-04-22T11:48:28Z
2024-04-22T11:48:28Z 2020 |
|
Тип |
Working Paper
|
|
Идентификатор |
Гурский, Н. Н. Автоматизация технологического процесса отжига кремниевых пластин / Н. Н. Гурский // Инновационные технологии, автоматизация и мехатроника в машино- и приборостроении [Электронный ресурс] : материалы VIII международной научно-практической конференции (Минск, 19 марта 2020 года) : в рамках выставки «Автоматизация, электроника – 2020» / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.] ; сост. А. Н. Дербан. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 118.
https://rep.bntu.by/handle/data/142066 |
|
Язык |
ru
|
|
Охват |
Минск
|
|
Издатель |
БНТУ
|
|