Влияние отжига на кристаллическую структуру поверхности кремния, легированного ионами CO
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Влияние отжига на кристаллическую структуру поверхности кремния, легированного ионами CO
|
|
| Автор |
Эгамбердиев, Б. Э.
Исроилов, Ф. М. Рахимова, Н. М. |
|
| Дата |
2024-04-23T07:21:27Z
2024-04-23T07:21:27Z 2022 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Эгамбердиев, Б. Э. Влияние отжига на кристаллическую структуру поверхности кремния, легированного ионами CO / Б. Э. Эгамбердиев, Ф. М. Исроилов, Н. М. Рахимова // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 375-379.
https://rep.bntu.by/handle/data/142085 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|