Кремний монокристаллига рух ва олтингугурт элементларини диффузия усули ёрдамида бир вақтда легирлаш технологияси
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригиналаПоле | Значение | |
Заглавие |
Кремний монокристаллига рух ва олтингугурт элементларини диффузия усули ёрдамида бир вақтда легирлаш технологияси
|
|
Автор |
Зикриллаев, Н. Ф.
Валиев, С. А. Ҳаққулов, М. К. Шакаров, Ф. Қ. Маҳмудов, С. Й. |
|
Дата |
2024-04-23T07:21:28Z
2024-04-23T07:21:28Z 2022 |
|
Тип |
Working Paper
|
|
Идентификатор |
Кремний монокристаллига рух ва олтингугурт элементларини диффузия усули ёрдамида бир вақтда легирлаш технологияси / Н. Ф. Зикриллаев [и др.] // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 382-384.
https://rep.bntu.by/handle/data/142087 |
|
Язык |
uz
|
|
Охват |
Минск
|
|
Издатель |
БНТУ
|
|