Исследование электрофизических свойств кремния, полученных методом электрополевой диффузии
Репозиторий БНТУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Исследование электрофизических свойств кремния, полученных методом электрополевой диффузии
|
|
| Автор |
Аюпов, К. С.
Худойназаров, З. Б. Валиев, С. А. Хакимов, Б. Н. Мусаева, Д. М. |
|
| Дата |
2024-04-23T07:21:28Z
2024-04-23T07:21:28Z 2022 |
|
| Тип |
Working Paper
|
|
| Идентификатор |
Исследование электрофизических свойств кремния, полученных методом электрополевой диффузии / К. С. Аюпов [и др.] // Научные основы использования информационных технологий нового уровня и современные проблемы автоматизации : сборник трудов I Международной научной конференции, 25-26 апреля 2022 года / Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова ; Белорусский национальный технический университет ; Белорусско-узбекский совместный межотраслевой институт прикладных технических квалификаций в городе Ташкент ; Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека ; ред. А. М. Хусейнов. – Ташкент : Университет, 2022. – С. 387-390.
https://rep.bntu.by/handle/data/142089 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Охват |
Минск
|
|
| Издатель |
БНТУ
|
|