Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления
|
|
| Автор |
Цяо Цзинвэнь
|
|
| Создатель |
Кашкаров, Егор Борисович
|
|
| Тематика |
никелевое покрытие
равномерность циркониевый сплав кремний измерение толщины nickel coating uniformity zirconium alloy silicon thickness measurement 03.03.02 669.296:546.74:621.793.74 |
|
| Описание |
В этой работе представлены результаты измерения толщины никелевых покрытий. Никелевые покрытия были нанесены на сплавах циркония Zr-1Nb и Si методом магнетронного распыления. Толщина никелевых покрытий измерена методом сканирующей электронной микроскопии (SEM), методом шарового истирания и неразрушающим методом рентгеновской дифракции.
In this paper, the results of measurements of nickel coating thickness are presented. Ni coatings were deposited onto zirconium alloy Zr-1Nb and Si wafers by magnetron sputtering. The thickness of Ni coatings was measured by scanning electron microscopy (SEM), ball abrasion method and the developed non-destructive XRD method. |
|
| Дата |
2017-06-08T04:48:30Z
2017-06-08T04:48:30Z 2017 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Цяо Цзинвэнь Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления : бакалаврская работа / Цяо Цзинвэнь ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Институт социально-гуманитарных технологий (ИСГТ), Кафедра междисциплинарная (МД) ; Физико-технический институт (ФТИ ТПУ) ; Кафедра общей физики (ОФ) ; науч. рук. Е. Б. Кашкаров. — Томск, 2017.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39531 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|