Исследование процессов распыления и ионной имплантации при осаждении тонких плёнок оксидов и нитридов титана методом реактивного магнетронного напыления
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Исследование процессов распыления и ионной имплантации при осаждении тонких плёнок оксидов и нитридов титана методом реактивного магнетронного напыления
|
|
| Автор |
Шурен, Жазира Бакытбеккызы
|
|
| Создатель |
Евдокимов, Кирилл Евгеньевич
|
|
| Тематика |
тонкие плёнки
оксиды и нитриды титана реактивное магнетронное напыление ионная имплантация коэффициент распыления thin films titanium oxide and nitride reactive magnetron sputtering ion implantation sputtering yield 16.04.01 539.216.2:621.793.7:669.295.065 |
|
| Описание |
В ходе работы были определены зависимости полных, парциальных коэффициентов распыления и knock-on коэффициентов от энергии налетающих ионов. Были определены средний пробег ионов при ионной имплантации. А также определены профили осаждения подложки. Полученные данные позволяют определить область наибольших значений скорости осаждения частиц.
In the course of work were identified based on full, partial sputtering yields and knock-on coefficients from the energy of the incident ions. The average range of ions were determined by ion implantation. And also, the profiles of the deposition substrate were determined. The obtained data allow to determine the region of higher values of the settling velocity of the particles. |
|
| Дата |
2017-06-08T10:50:43Z
2017-06-08T10:50:43Z 2017 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Шурен Ж. Б. Исследование процессов распыления и ионной имплантации при осаждении тонких плёнок оксидов и нитридов титана методом реактивного магнетронного напыления : магистерская диссертация / Ж. Б. Шурен ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. К. Е. Евдокимов. — Томск, 2017.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39642 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|