Моделирование гистерезиса процесса реактивного магнетронного напыления оксидов и нитридов титана
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Моделирование гистерезиса процесса реактивного магнетронного напыления оксидов и нитридов титана
|
|
| Автор |
Медетхан, Арай Еренбайкызы
|
|
| Создатель |
Евдокимов, Кирилл Евгеньевич
|
|
| Тематика |
оксид и нитрид титана
реактивное магнетронное напыление гистерезис плазма модель Берга titanium oxide and nitride reactive magnetron sputtering hysteresys plasma model of Berg 16.04.01 661.88:621.793.7 |
|
| Описание |
В работе представлены теоретические основы по плёнкам, методы осаждения, модель Берга и Деплы, реализация модели Деплы в программных продуктах.В ходе работы были определены зависимости гистерезиса от параметров процесса и определены области гистерезиса, а также теоретические данные были сравнены с экспериментальными данными.
This work presents theoretical basics on films, deposition methods, the Berg and Depla model, the implementation of the Depla's model in software products. In the course of the work, hysteresis dependencies on the process parameters and hysteresis regions were determined, and theoretical data were compared with experimental data. |
|
| Дата |
2017-06-08T10:54:33Z
2017-06-08T10:54:33Z 2017 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Медетхан А. Е. Моделирование гистерезиса процесса реактивного магнетронного напыления оксидов и нитридов титана : магистерская диссертация / А. Е. Медетхан ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. К. Е. Евдокимов. — Томск, 2017.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39643 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|