Изменение оптических и электрических характеристик плёнок оксида олова под действием ионов аргона
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Изменение оптических и электрических характеристик плёнок оксида олова под действием ионов аргона
|
|
| Автор |
Теменков, Владимир Сергеевич
|
|
| Создатель |
Умнов, Сергей Павлович
|
|
| Тематика |
магнетронная распылительная система
ионный пучок оксид олова коэффициент пропускания поверхностное сопротивление ренгенофазный состав прозрачный проводящий оксид tin oxide ion beam transmittance surface resistance transparent conductive oxide X-ray Diffraction 16.04.01 539.216:669.6:661.88:546.29 |
|
| Описание |
Тонкие пленки оксида олова были осаждены на стеклянные подложки при комнатной температуре с помощью реактивного магнетронного распыления при различных парциальных давлениях кислорода. После осаждения пленки подвергались облучению пучком ионов аргона. Было изучено изменение оптических и электрических свойств пленок в зависимости от времени облучения.
Thin films of tin oxide were deposited on glass substrates at room temperature by reactive magnetron sputtering at various partial oxygen pressures. After deposition, the films were irradiated with a beam of argon ions. The change in the optical and electrical properties of the films as a function of the irradiation time was studied. |
|
| Дата |
2017-06-09T10:18:38Z
2017-06-09T10:18:38Z 2017 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Теменков В. С. Изменение оптических и электрических характеристик плёнок оксида олова под действием ионов аргона : магистерская диссертация / В. С. Теменков ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. С. П. Умнов. — Томск, 2017.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39792 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|