Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge)
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge)
|
|
| Автор |
Золкин, А. С.
Семерикова, А. И. |
|
| Тематика |
имплантация ионов
пропан адгезия пленки германий углеродные пленки покрытия оптика оптические свойства твердость наноиндентирование ионные пучки |
|
| Дата |
2017-11-03T03:18:39Z
2017-11-03T03:18:39Z 2017 |
|
| Тип |
Conference Paper
Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) Conference paper (info:eu-repo/semantics/conferencePaper) |
|
| Идентификатор |
Золкин А. С. Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge) / А. С. Золкин, А. И. Семерикова // Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 240-242].
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Связанные ресурсы |
Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск, 2017.
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|