Экспериментальные исследования проблем оптимизации методов эпитаксиального выращивания наноструктур III-N материалов
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригиналаПоле | Значение | |
Заглавие |
Экспериментальные исследования проблем оптимизации методов эпитаксиального выращивания наноструктур III-N материалов
|
|
Автор |
Жиленков, А. А.
|
|
Тематика |
экспериментальные исследования
оптимизация наноструктуры газофазная эпитаксия неоднородности выращивание структуры реакторы индукционный нагрев газы индукторы оптические свойства |
|
Дата |
2017-11-03T03:18:46Z
2017-11-03T03:18:46Z 2017 |
|
Тип |
Conference Paper
Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) Conference paper (info:eu-repo/semantics/conferencePaper) |
|
Идентификатор |
Жиленков А. А. Экспериментальные исследования проблем оптимизации методов эпитаксиального выращивания наноструктур III-N материалов / А. А. Жиленков // Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 289-290].
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43732 |
|
Язык |
ru
|
|
Связанные ресурсы |
Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск, 2017.
|
|
Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|