Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20
|
|
| Автор |
Шевелев, Алексей Эдуардович
|
|
| Создатель |
Рябчиков, Александр Ильич
|
|
| Тематика |
—
диссертации формирование высокоинтенсивные пучки ионы металлов низкие энергии плазма вакуумные дуги заряженные частицы ионная имплантация элементный состав приповерхностные слои плазменно-иммерсионное формирование вакуумно-дуговые разряды транспортировка фокусировка вакуумно-дуговая плазма низкие энергии практическое применение 01.04.20 |
|
| Дата |
2019-05-21T09:53:44Z
2019-05-21T09:53:44Z 2019 |
|
| Тип |
Thesis
Dissertation info:eu-repo/semantics/authorVersion |
|
| Идентификатор |
Шевелев А. Э. Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.20 / А. Э. Шевелев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2019.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53313 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|