Исследование свойств медных покрытий, полученных в режиме самораспыление при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Исследование свойств медных покрытий, полученных в режиме самораспыление при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
|
|
| Автор |
Торломоев, Алексей Эженович
|
|
| Создатель |
Юрьева, Алёна Викторовна
|
|
| Тематика |
свойства медных покрытий
тонкие медные пленки магнетронная распылительная система с жидкой мишенью шероховатость электропроводимость микроструктура properties of copper coatings thin copper films magnetron sputtering system with a liquid target. roughness electrical conductivity microstructure 03.04.02 669.33:621.793.7:621.385.64 |
|
| Описание |
Объектом исследования: Медные пленки, полученные с помощью МРС с жидкой мишенью. Цель работы: Исследовать влияние различных режимов работы, источников питания на свойства полученных тонких медных пленок в зависимости от состояния мишени. В результате исследования обнаружено, что шероховатость и структура тонких пленок не зависит от источника питания; для медных пленок толщиной 1мкм шероховатость увеличивается при использовании жидкой мишени. The object of the research: Copper films obtained using liquid-crystal microscopy with a liquid target. Objective: To investigate the effect of various operating modes, power sources on the properties of the obtained thin copper films depending on the state of the target. The study found that the roughness and structure of thin films does not depend on the power source; for copper films with a thickness of 1 µm, the roughness increases with the use of a liquid target. |
|
| Дата |
2019-06-05T10:38:09Z
2019-06-05T10:38:09Z 2019 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Торломоев А. Э. Исследование свойств медных покрытий, полученных в режиме самораспыление при работе магнетрона с испаряющейся мишенью : магистерская диссертация / А. Э. Торломоев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение экспериментальной физики (ОЭФ) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2019.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54126 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|