Разработка электродных структур микромеханических сенсоров
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Разработка электродных структур микромеханических сенсоров
|
|
| Автор |
Хмелёв, Владимир Андреевич
|
|
| Создатель |
Нестеренко, Тамара Георгиевна
|
|
| Тематика |
МЭМС - микроэлектромеханическая система
электродные структуры гребенчатые структуры электрическая емкость краевые эффекты MEMS electrode structures comb structures electric capacity edge effects 12.03.01 681.586.772'32-022.52 |
|
| Описание |
В ходе данной работы будут разработаны варианты электродных структур электростатических микромеханических систем, для которых различными методами будут рассчитаны емкости, проведено их сравнение и будут даны рекомендации по применению оптимальных методов расчета.
In the course of this work, variants of the electrode structures of electrostatic micromechanical systems will be developed, for which capacitances will be calculated using various methods, compared, and recommendations on the use of optimal calculation methods will be given. |
|
| Дата |
2019-06-14T09:02:09Z
2019-06-14T09:02:09Z 2019 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Хмелёв В. А. Разработка электродных структур микромеханических сенсоров : бакалаврская работа / В. А. Хмелёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа неразрушающего контроля и безопасности (ИШНКБ), Отделение электронной инженерии (ОЭИ) ; науч. рук. Т. Г. Нестеренко. — Томск, 2019.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55069 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|