Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния
Influence of the type of target of the magnetron diode on the optical properties silicon film |
|
| Автор |
Бельгебаева, Д. Е.
|
|
| Создатель |
Сиделёв, Дмитрий Владимирович
|
|
| Тематика |
мишени
магнетронные диоды оптические свойства пленки кремний оптические свойства |
|
| Описание |
Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range.
|
|
| Дата |
2019-09-25T04:48:06Z
2019-09-25T04:48:06Z 2019 |
|
| Тип |
Conference Paper
Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) Conference paper (info:eu-repo/semantics/conferencePaper) |
|
| Идентификатор |
Бельгебаева Д. Е. Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния / Д. Е. Бельгебаева ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 64-66].
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Связанные ресурсы |
Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2019.
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Издатель |
Изд-во ТПУ
|
|