Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
Selection of operation modes of the radio-frequency source of glow disharge optical emission spectrometer GD-Profiler 2 for analysis of thin films |
|
| Автор |
Ломыгин, Антон
|
|
| Создатель |
Лаптев, Роман Сергеевич
|
|
| Тематика |
режимы работы
спектрометры тлеющие разряды тонкие пленки спектрометрия нанокомпозитные покрытия импульсные источники радиочастотные источники подложки |
|
| Описание |
Modern technologies cannot do without materials with special characteristics, some of these materials are coatings and thin films. Coatings and thin films are used in various areas ranging from optics to protective films from any effects. The characteristics of these films mainly depend on two factors of composition and structure. These factors must be carefully controlled, but one method of controlling the elemental composition is glow discharge spectrometry. This study aims to study the sputtering modes for a pulsed radio frequency source of a glow discharge spectrometer DG-Profiler 2.
|
|
| Дата |
2019-09-25T04:48:10Z
2019-09-25T04:48:10Z 2019 |
|
| Тип |
Conference Paper
Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion) Conference paper (info:eu-repo/semantics/conferencePaper) |
|
| Идентификатор |
Ломыгин А. Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок / А. Ломыгин ; науч. рук. Р. С. Лаптев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 208-210].
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55833 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Связанные ресурсы |
Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2019.
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Издатель |
Изд-во ТПУ
|
|