Просмотреть запись

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением

Электронный архив ТПУ

Информация об архиве | Просмотр оригинала
 
 
Поле Значение
 
Заглавие Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
Optical properties of nitrogen doped titanium oxide films, deposited using magnetron sputtering
 
Автор Чжилэй Сунь
Конищев, Максим Евгеньевич
 
Создатель Пичугин, Владимир Федорович
 
Тематика оптические свойства
пленки
оксид титана
магнетронное распыление
оптические свойства
легирование
покрытия
осаждение
 
Описание In this paper we present the results of investigation of optical properties of nitrogen doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering. The influence of reactive atmosphere and post annealing on refractive index, transmittance and band gap energy has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized by maximum of deposition rate and minimum of refractive index. N-induced band gap narrowing has been observed and the minimum band gap energy was found to be 2.87 eV for annealed TiON 1.5-1 film.
 
Дата 2019-09-25T04:48:14Z
2019-09-25T04:48:14Z
2019
 
Тип Conference Paper
Published version (info:eu-repo/semantics/publishedVersion)
Conference paper (info:eu-repo/semantics/conferencePaper)
 
Идентификатор Чжилэй Сунь. Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением / Чжилэй Сунь, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 388-390].
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873
 
Язык ru
 
Связанные ресурсы Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2019.
 
Права Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
 
Издатель Изд-во ТПУ