Влияние параметров осаждения на структуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N при использовании среднечастотного импульсного магнетронного распыления
Электронный архив ТПУ
Информация об архиве | Просмотр оригинала| Поле | Значение | |
| Заглавие |
Влияние параметров осаждения на структуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N при использовании среднечастотного импульсного магнетронного распыления
|
|
| Автор |
Гаранин, Юрий
|
|
| Создатель |
Шугуров, Артур Рубинович
|
|
| Тематика |
импульсное среднечастотное магнетронное распыление
покрытия Ti-Al-Ta-N микроструктура механические характеристики износостойкость pulsed middle-frequency magnetron sputtering Ti-Al-Ta-N coatings microstructure mechanical characteristics wear resistance 621.793.182.02:669.295.058 |
|
| Описание |
В работе исследовано влияние импульсного среднечастотного магнетронного распыления на микроструктуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N. Установлено, что применение импульсного режима магнетронного распыления позволяет подавить рост столбчатой микроструктуры, что обуславливает повышение механических и трибологических характеристик в покрытиях Ti-Al-Ta-N
The influence of pulsed middle-frequency magnetron sputtering on the microstructure and functional properties of Ti-Al-Ta-N coatings has been studied. It has been established that the use of a pulsed mode of magnetron sputtering makes it possible to suppress the growth of a columnar microstructure, which leads to an increase in mechanical and tribological characteristics in Ti-Al-Ta-N coatings. |
|
| Дата |
2023-06-09T06:57:08Z
2023-06-09T06:57:08Z 2023 |
|
| Тип |
Students work
|
|
| Идентификатор |
Гаранин Ю. Влияние параметров осаждения на структуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N при использовании среднечастотного импульсного магнетронного распыления : магистерская диссертация / Ю. Гаранин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. А. Р. Шугуров. — Томск, 2023.
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75670 |
|
| Язык |
ru
|
|
| Права |
Open access (info:eu-repo/semantics/openAccess)
|
|
| Формат |
application/pdf
|
|